PDComm.Gem300Axis

열거형

기능이 속한 GEM300 객체 영역입니다.

public enum Gem300Axis : uint

멤버

열거자

캐리어(SEMI E87)입니다.

Carrier = 2

열거자

컨트롤 잡(SEMI E94)입니다.

ControlJob = 4

열거자

프로세스 잡(SEMI E40)입니다.

ProcessJob = 1

열거자

기판(SEMI E90)입니다.

Substrate = 3